德国超声波扫描显微镜

名称：德国超声波扫描显微镜

产品介绍：

名称：德国超声波扫描显微镜

型号：V-400E

产地：德国

应用：晶圆面处分层缺陷；锡球、晶圆、或填胶中的开裂；晶圆的倾斜；各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）

产品应用：

声扫显微镜应用领域：

• 半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
• 材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
• 生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等

在失效分析中的应用：

• 晶圆面处分层缺陷
• 锡球、晶圆、或填胶中的开裂
• 晶圆的倾斜
• 各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）

声扫显微镜的在失效分析中的优势：

• 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
• 可分层扫描、多层扫描
• 实施、直观的图像及分析
• 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
• 可显示材料内部的三维图像
• 对人体是没有伤害的
• 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

主要参数：

• -该型号显微镜系统是实验室、研发和工业生产线主流机型。
• - 扫描速度可达：2000mm/s
• - 与其它品牌机型相比扫描效率高30%
• - 大扫描范围：400mm×400mm
• - 小扫描范围：200μm×200μm
• - 射频大带宽：500MHz
• - 新型FCT防误判探头

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